S530

Для разработки и производства современных аналоговых и силовых полупроводниковых приборов, включая приборы на основе GaN и SiC, требуется параметрическое тестирование, которое существенно повышает производительность измерений, поддерживает широкий спектр тестируемых устройств и сводит к минимуму стоимость тестирования. Компания Keithley уже больше 40 лет успешно решает эти и другие важные задачи в таких критически важных секторах, как интеграция процессов, мониторинг систем управления процессами, сортировка кристаллов на производственных линиях (например, приёмочные испытания пластин или тестирование с использованием эталонных кристаллов), а также надёжность устройств.

Системы параметрического тестирования Keithley серии S530 с программным обеспечением KTE 7 позволяют применять чрезвычайно гибкие высокоскоростные конфигурации, которые можно наращивать по мере появления новых областей применения и изменения требований. Система S530 обеспечивает тестирование устройств напряжением до 200В, а S530-HV — напряжением до 1100 В на любом выводе с повышением производительности тестирования до 50 % по сравнению с аналогичными системами других компаний. Новым решением для KTE 7 является дополнительный модуль Testhead, обеспечивающий непосредственное соединение с зондовой станцией и использование ранее применяемых зондовых плат; калибровку на уровне системы по выводам, которая соответствует требованиям ISO-17025 и поддерживает требования автомобильного стандарта IATF-16949; а также самый простой и плавный метод перехода с устаревших систем S600 и S400 с полной корреляцией данных и повышением скорости.

Характеристики S530

• Большой выбор опций интерфейса для зондовой станции, включая модуль Testhead; поддержка ранее используемых систем Keithley, а также систем Keysight
• Стандартизованная в промышленности программная среда KTE
• Тестирование всех высоковольтных и низковольтных параметров за одно касание пробника
• Полностью автоматическая калибровка на уровне системы, выполняемая при помощи нового модуля коммутации эталонов (SRU), соответствует самым современным стандартам качества
• Программные инструменты HealthCheck, входящие в состав ПО KTE 7, значительно повышают время работы системы и целостность данных
• Встроенная защита от переходного перенапряжения и перегрузок по току сокращает до минимума дорогостоящие простои системы и повреждения пластин
• Соответствует требованиям по калибровке ISO-17025 и поддерживает требования стандарта IATF-16949
• Обеспечивает поддержку интерфейса SECS/GEM при работе с пластинами диаметром 300 мм

Основные достоинства:

• Самая низкая в классе стоимость обслуживания
• Возможность измерения пикоамперных токов и ниже (система s530 малого тока)
• Источники-измерители подают напряжение 1 кВ на любой контакт системы (высоковольтная система s530)
• Возможность распределенного параллельного тестирования помогает сократить время измерений
• Источники-измерители мощностью 100 Вт подают ток